光刻機是製造芯片的核心設備,其工作原理就像是“投影”和‘曝光’,通過精密的光學係統和控製技術將電路圖案轉移到矽片上。
陳望想要大規模製造芯片,那麼光刻機就是繞不過去的門檻。
讓陳望驚喜的是這時候國內的光刻機發展並沒有他想象中的那麼落後,雖然與國外先進水平相比肯定有一定的差距,但卻已經能獨立生產製造光刻機。
這個消息還是四機部阮司長告訴陳望的,就在前兩個月海市光學機械廠成功研製出了華國的第一台接觸式光刻機JKG3型。
而且這台光刻機從光學係統、精密機械、對準技術到光刻膠等配套材料,華國都實現了自主研發,是一條完全獨立、不受外部製約的技術路線。
陳望當時聽到這裡的時候有些奇怪,在決定研發光刻機的時候他查閱過小才給的國外光刻機發展的公開資料。
光刻機如果按照曝光方式區分,目前為止光刻機的發展可分為接觸式、接近式、投影式三種。
現在國際上最先進的方向是投影式光刻機,但他們國家在接近式光刻機上也有了一定的研究成果。
所以他們國家的光刻機製造水平雖然不是一流,但也算得上是二流水平。
而且就單從分辨率上來說差距就要更小一些了,分辨率是指光刻機能夠在晶圓上清晰區分並形成的最小物理尺寸,也是芯片的最小線寬或者最小特征尺寸。
分辨率的數值越小光刻精度越高,現在分辨率的數值一般都是以毫米為單位,但陳望上輩子死的時候已經以納米為單位了。
從小才提供的資料來看,目前國際上最先進的芯片就是3微米製程的,但他們也已經能製出510微米的芯片。
這種差距也就五六年的差距,那怎麼越發展差距還越大了呢,以至於到了八九十年代已經有了快10年的差距!
所以陳望還是挺奇怪的,不過現在不是分析原因的時候,既然國內已經有了自主研發的接觸式光刻機,那麼他隻要在這基礎上改進成接近式光刻機就行了。
接近式光刻機的分辨率極限就是3左右微米,這用來製造蜂窩移動通信的芯片組已經夠了。
至於投影式光刻機。
陳望看了一眼已經設計好的圖紙和列舉出來的國內目前完全不能提供的零配件.......算了,人不能一口吃成一個大胖子。
這種需要調動國家全部工業和科研資源才能攻克的難題僅憑他和四機部合作肯定是沒辦法的,他還是先在接觸式的基礎上把接近式光刻機先搞出來再說吧。
至少這個在現有的工業基礎上還能實現。
所以陳望又把設計好的投影式光刻機放到一旁,開始進一步研發接近式光刻機。
而就在陳望悶頭研發的時候,首都永光電子廠的第四車間內燈火通明,一群穿著白色棉質防塵服,帶著布帽的技術員正井然有序的忙碌著。
廠房是蘇式風格,高大寬敞,水泥地塗了綠色的油漆,搭配白色的石灰牆讓整個車間看來乾淨整潔,一看就是進行精密操作的重要車間。
不過也的確如此,第四車間正是永光電子廠的光刻車間,閒雜人一律不準靠近。
而此時第四車間外卻圍了一群人,其中阮仲楷就赫然在列,其餘則是永光電子廠還有四機部三院和華科院半導體研究室的各位教授和專家。
他們之所以深更半夜還大老遠的趕過來聚集在此就是為了見證一個曆史性時刻。
一塊完全由他們國家自己研發製造的芯片的誕生!
從永光電子廠自己設計的集成電路,到海市光學機械廠研發的接觸式光刻機,再到一直很難突破一周前卻被江寧省物理研究所成功突破拉製出來的第一根單晶矽棒........
這每一步每一個環節,都是真正意義上的完全獨立自主,所以守在這裡的領導和眾位專家教授臉上都是興奮和期待。
現在已經是秋季,再加上此時更深露重溫度其實已經有些低,但內心火熱的眾人根本感受不到一點。
除了因為馬上要見證曆史而激動欣喜以外,他們還對自己人竟然已經能拉製出一整根單晶矽棒感到震驚。
有種大家明明都以一個平均速度前進著,結果有人突然就坐上了火箭,然後突飛猛進的感覺。
而且還是背著他們偷偷坐的火箭,這都到目的地了才告訴他們!
所以大家討論得異常激烈。
“簡直不敢相信,我記得上次四機部三院才拉製出幾克單晶矽吧?怎麼去了江寧省一下子就拉製出一整根晶棒了?這江寧省難道特彆適合製矽不成?”
“什麼特彆適合製矽,你當製矽是仙人煉丹還需要看風水寶地啊?我看這次成功拉製出單晶矽的關鍵還是在這個江寧省的物理研究所!”
“嗯?這話怎麼說?”
說話的人嫌棄地瞥了眼問話的人,“我說老李你下次出實驗室的時候能不能把腦子也帶上啊,彆一出實驗室就跟傻子似的。
你都說了三院之前一直沒成功,這次一去江寧省就成功了,你說成功的關鍵是什麼?”
問話的人恍然大悟,“哦!對啊!那成功的關鍵肯定就是這個物理研究所了!”
·······
稍遠一點的地方,陶斯言和阮仲楷坐在石凳上一邊抽煙一邊聊天。
“阮司長嘴巴可真嚴,要不是我們跟陳望也有合作,你今晚上也不會叫我們過來吧?”
陶斯言說到這裡就鬱悶地抽了一大口煙,明明是他們先和陳望有的合作,結果研究製矽的事他們卻一點沒有參與上!
“嗬嗬嗬嗬,陶教授說哪裡的話,你們華科院是我們最高的科學機構,研究成果對哪個單位保密也不能對你們保密啊!”
阮仲楷說完又繼續道:“況且這次成功得實在太快了,根本來不及先告訴你們,我感覺自己現在都還沒有反應過來呢。”
陶斯言趁著夜色翻了個白眼,“哦?是嘛?不過我怎麼聽說你們的研究團隊還沒有過去,人家陳望就已經拉製成功了啊?阮司長,你們這是直接過去撿便宜啊?”