荷蘭，維爾德霍芬。的總部所在地。這座看似普通的歐洲小鎮，掌握著人類精密製造的最高機密。的研發中心。的全球總裁溫彼得，以及公司的技術靈魂、首席技術官馬丁·範登布林克。
會議室沒有任何多餘的裝飾，隻有一塊巨大的白板和一台投影儀。
“林先生，”溫彼得開門見山，表情嚴肅，“在開始之前，我必須重申：受限於《瓦森納協定》和美國商務部的最新出口管製規則，我們無法向中國出售、租賃或轉讓任何涉及euv技術的設備、零部件及圖紙。”
“哪怕一顆螺絲釘也不行。”
“我知道。”林遠平靜地坐下，“我也沒打算買euv。”
以下，沒有euv幾乎是不可能的。單純靠duv深紫外的多重曝光，良率會低到讓你破產。”
“物理上是不可能。”林遠指了指自己的太陽穴，“但數學上，是可能的。”
“我來，是想和你們談談計算光刻。”
林遠示意王海冰打開電腦，將一份名為《基於ai加速的逆向光刻技術it）解決方案》的ppt投射在屏幕上。
“馬丁先生，您是光刻專家。您應該知道，光刻機的本質，是一個光學成像係統。”
“當光線穿過掩膜版投射到矽片上時，由於光的衍射特性，圖形會發生畸變。直角變圓角，線條變粗細。”
“為了修正這種畸變，我們傳統上使用opc光學鄰近效應修正技術。通過在掩膜版上增加一些‘亞分辨率輔助圖形來補償。”，傳統的opc已經失效了。掩膜版的圖形複雜度呈指數級上升，計算量大到無法想象。”
“現在，唯一的解決方案是逆向光刻技術。”
“不再是修正圖形，而是根據目標圖形，反向計算出完美的掩膜版形狀。”
馬丁點了點頭，神色凝重：“理論上是這樣。但it的計算量是opc的100倍。處理一顆滿光罩的芯片，需要數萬個cpu核跑上幾個月。這在工程上是不可接受的。”
“如果……”林遠看著馬丁，“我能把計算時間，縮短到10小時呢？”
“不可能！”馬丁脫口而出。
“沒有什麼不可能。”林遠切換了一張架構圖。
“1.算力暴力破解：我們擁有啟明雲和青川智算中心。我們不缺cpu，也不缺gpu。我們可以調用10萬張ai加速卡，進行大規模並行計算。”
“2.ai模型加速：汪韜的團隊訓練了一個專門的光刻成像神經網絡。它不需要像傳統算法那樣去解繁瑣的麥克斯韋方程組。它隻需要看一眼電路圖，就能預測出光的衍射行為。”
“我們將物理建模與深度學習結合，速度提升了500倍。”
“3.端到端協同：我們的昆吾eda軟件，可以直接輸出適合it計算的數據格式，無需中間轉換。”
林遠拋出了他的籌碼：
現在麵臨的問題是：euv產能不足，且極其昂貴；duv雖然成熟，但麵臨技術天花板。”開放這套ai光刻加速引擎。”
“你們提供光源模型數據和透鏡像差數據，我們提供算力和算法。”
“我們聯手，用軟件壓榨出duv光刻機的物理極限。讓193n波長的duv，在不使用euv的情況下，穩定生產出7n，甚至5n的芯片！”
溫彼得和馬丁對視了一眼。
他們看懂了林遠的意圖。
這是一筆技術置換。
中國出算力，荷蘭出光學硬件。將能通過軟件升級，讓存量的數千台duv光刻機煥發第二春，這是一個價值數百億美金的服務市場。
而且，這不涉及實體設備的出口，處於製裁的灰色地帶。
“我們需要驗證。”馬丁謹慎地說道，“口說無憑。”
“沒問題。”林遠拿出一個加密硬盤，“這裡麵是我們用ai生成的，針對asnxt2000i機型的測試掩膜版數據。你們可以去實驗室跑一下。”光刻實驗室。
這裡是全球最潔淨的地方，空氣潔淨度達到isocass1標準。
工程師將林遠提供的數據導入光刻機的控製係統。的深紫外光，穿過複雜得如同外星迷宮般的掩膜版，投射到塗滿光刻膠的晶圓上。
顯影，定影，電子顯微鏡掃描。
當圖像出現在屏幕上時，馬丁倒吸了一口涼氣。
屏幕上，是一排排整齊的鰭式場效應晶體管結構。
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線條邊緣銳利，關鍵尺寸cd）均一性極佳。
“線寬……38納米單次曝光極限。”馬丁喃喃自語，“這已經逼近了瑞利判據的物理極限。”
首席科學家補充道，“理論上，我們可以把這就距縮小到10納米以下。也就是7n製程。”
“但這需要極高的套刻精度。”
“他們的算法裡包含了非線性套刻補償模型。”馬丁指著數據日誌，“你看，他們在計算掩膜版時，已經預判了晶圓在多次曝光過程中的熱膨脹和機械形變，並提前做了反向補償。”
“這是上帝視角。”
馬丁轉過身，看著站在玻璃窗外的林遠，眼中沒有了最初的懷疑，隻剩下純粹的技術敬畏。引以為傲的光學壁壘，被中國人的算力暴力給鑿穿了。
回到會議室，談判進入了實質性階段。
這一次，溫彼得的態度發生了180度轉彎。
“林先生，測試結果令人印象深刻。我們原則上同意成立聯合實驗室。”
“但是，關於合作模式……”
“雙向授權。”林遠直接給出了方案。計算光刻聯合實驗室。該實驗室為獨立法人，不受美國法律管轄。”的光源核心數據，隻能在新加坡的離線服務器上使用，不得傳輸回中國大陸。同樣，我們的ai模型核心代碼，也隻在實驗室內運行。”擁有海外獨家銷售權，啟明聯盟擁有中國區獨家使用權。銷售利潤五五分成。”
“4.硬件支持：”林遠盯著溫彼得，“這是最關鍵的。我需要as承諾，優先保障啟明聯盟成員企業如中芯、華虹的duv光刻機零部件供應和維護服務。並且，在合規範圍內，向我們出售最高配置的浸沒式duv光刻機nxt2050i）。”
溫彼得沉思了片刻。不需要付出任何核心硬件技術，僅僅是開放了一些軟件接口和光學參數，就能獲得一套世界領先的ai光刻係統，還能穩住中國這個最大的客戶。
“成交。”溫彼得伸出手。
“不過，林先生，我要提醒你。”溫彼得壓低了聲音，“就算有了這套軟件，有了duv。要做7n，你們還缺一樣東西。”
“什麼？”
“光刻膠。”
“做多重曝光，對光刻膠的穩定性要求極高。目前，全球能生產arf浸沒式光刻膠的企業，隻有日本的jsr、東京應化和信越化學。”