江州，啟明防務技術研究院，紅區pf實驗室。
這裡是整個集團保密等級最高的區域，門口站著兩名荷槍實彈的哨兵。
實驗室內，一個被鉛板嚴密包裹的保險箱被緩緩打開。
在那裡麵，躺著一塊僅有指甲蓋大小、呈現出淡紫色的透明晶體。
這就是kbbf氟硼鈹酸鉀。中國獨有的戰略資源，全球唯一能直接倍頻產生深紫外激光的非線性晶體。
“這就是我們要的心臟。”
李振聲教授戴著防靜電手套，小心翼翼地將其夾起，放入顯微鏡下。
“但是林董，有個大麻煩。”
李振聲指著顯示屏上的晶體側麵圖。
“kbbf是層狀結構，像雲母一樣。層與層之間結合力極弱。一旦我們試圖用傳統的拋光機去磨它，它就會像書本一樣散架。”
“而且，它含有劇毒的鈹元素。加工產生的粉塵如果被吸入，會引起鈹肺病。沒有專門的負壓加工中心，沒人敢動它。”
的深紫外光，我們需要用四倍頻技術。也就是把基頻激光的波長壓縮四次。”
“這意味著，這塊小小的晶體，要承受極高的能量密度。如果表麵有一點點劃痕或雜質，激光瞬間就會把它打穿，變成一堆廢粉。”
“我們需要原子級的表麵平整度，國內的光學加工廠，做不到。”
林遠看著那塊脆弱而致命的晶體。
“既然磨不了，那就粘。”
“棱鏡耦合技術。”
這是中國科學家陳創天院士當年的獨門絕技。
“我們不直接磨kbbf。我們將它夾在兩塊高精度的石英棱鏡中間，利用光膠技術，靠分子間作用力讓它們死死粘在一起。”
“然後，我們磨石英，不磨晶體。”
“這需要極高的手工技藝。”林遠看向王海冰，“去把中科院福建物構所的老師傅請來。這種手藝活，機器乾不了，人能乾。”
解決了晶體的固定，真正的噩夢才剛剛開始。
光學係統，不僅要有透鏡，還要有“膜”。
增透膜、高反膜。沒有膜，激光會在界麵上反射、損耗，甚至形成鬼影。的深紫外光來說，鍍膜是地獄級難度。
“林董，”負責光學工藝的張教授拿著一份報告，臉色灰敗。
“我們用國產的電子束蒸發鍍膜機，試鍍了十次。全部失敗。”
“為什麼？”
“致密度不夠。”
張教授解釋道：“電子束蒸發的膜層，微觀上是柱狀結構，中間有空隙。水分子會鑽進去。在193n的高能光子轟擊下，水分子會電離，產生氫氧根，導致膜層迅速老化、吸收增加。”
“吸收增加意味著什麼？”
“意味著發熱。接著就是激光誘導損傷。”
張教授拿出一片廢棄的鏡片。鏡片中心，有一個明顯的黑色燒蝕坑。
“隻要開機十分鐘，膜就會燒穿。”
“我們需要離子束濺射鍍膜機。”張教授斷言，“隻有ibs打出來的膜，才是非晶態的、致密的、無針孔的。”
“但是，ibs設備被美國列在瓦森納協定的核心禁運名單裡。vee和oxfordinstruents，絕對不會賣給我們。”
這是一個死循環。
要搞深紫外計算＞必須要有高損傷閾值的膜＞必須要有ibs設備＞買不到。
“能不能自己造ibs？”林遠問。
“原理我們懂。但是，核心的射頻離子源，需要極其精密的磁場約束和柵極加工。國內的離子源，束流不穩定，打出來的膜厚度不均勻。”張教授搖頭。
林遠沉默了。
沒有設備，巧婦難為無米之炊。
“既然物理鍍膜走不通……”
林遠盯著那個燒蝕的黑點。
“那我們就用化學。”
“ad原子層沉積。”
林遠看向李振聲。at的前驅體工藝嗎？那是用來做半導體柵極的。”
“現在，我要你們把ad技術，用到光學鍍膜上！”
“ad是一層一層原子長的。它的致密度，比ibs還要高！”
“但是，”張教授猶豫道，“ad太慢了。長一微米要幾天。而且，ad可用的光學材料太少，折射率匹配很難。”
“那就做混合膜係。”
林遠在白板上畫了一個三明治結構。
“底層：用國產電子束鍍膜，做厚度。”
“表層：用ad鍍一層50納米的致密保護層，做封孔！”
“就像給疏鬆的牆麵，刷一層防水漆。”
“隻要水分子進不去，idt閾值就能提上來！”
這是一個典型的“土法煉鋼”思路，用兩種低端工藝的組合，去逼近高端工藝的效果。
方案確定，立刻執行。+ad複合工藝的鏡片下線了。
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，功率10。
十分鐘過去了。膜沒破。
三十分鐘過去了。膜依然完好。
“成功了！”張教授激動得握緊了拳頭。
但是，負責算法的汪韜，卻皺起了眉頭。
“不對。光斑散了。”
屏幕上，原本應該彙聚成一個針尖大小的焦點，此刻卻變成了一個模糊的光暈。
“焦距漂移了。”汪韜看著數據，“漂移了整整2毫米。這對於納米級的光刻計算來說，誤差是致命的。”
“為什麼會漂移？”林遠問。
“熱透鏡效應。”李振聲教授歎了口氣。
“雖然膜沒破，但它依然有微弱的吸收。吸收產生熱量。”
“鏡片受熱，中間膨脹，折射率發生變化。原本的平光鏡，變成了一個凸透鏡。”
“而且，這個效應是動態的。功率越高，透鏡效應越強。焦點就跑得越遠。”
“這是物理規律，沒法消除。除非你能把吸收率做到零，那是上帝才能做到的事。”