江州,啟明防務技術研究院,地下三層絕密會議室。
空氣中彌漫著緊張的味道。
坐在林遠對麵的,是尼康精密機械部門的前本部長,山田光一。他身後跟著三個頭發花白的日本老頭,都是尼康光係的骨灰級專家。
山田光一將一個沉重的鈦合金手提箱放在桌上,解鎖,打開。
裡麵是一塊硬盤,和一本厚厚的紙質藍圖。
“林先生,”山田的聲音低沉,“這是尼康秘密研發了五年的na0.55投影物鏡係統設計圖。”的euv光刻機,na數值孔徑隻有0.33。而我們這個,是0.55。”
“理論上,配合你們的計算光刻技術,它可以讓duv光刻機的分辨率極限,推進到3納米。”的唯一武器。”
王海冰戴著手套,翻開藍圖。隻看了幾頁,他的手就開始顫抖。
“這……這太瘋狂了。”
“物鏡組總長2.5米,最大鏡片直徑0.8米,總重量1.5噸?”
“這哪裡是顯微鏡,這簡直是天文望遠鏡!”波長下實現0.55的na,我們必須把鏡子做得巨大,以收集更多的衍射光。”
“但是,”山田話鋒一轉,眼神黯淡,“我們造不出來。”
“為什麼?”林遠問。
“三個原因。”
山田伸出三根手指,像是在曆數家珍般的絕望。
“1.材料封鎖,這種尺寸的透鏡,不能用石英,必須用氟化鈣單晶。因為隻有螢石在深紫外波段下吸熱少,熱透鏡效應低。但是,全球能生長這麼大尺寸螢石晶體的,隻有德國肖特和美國康寧。他們對中國和叛變的尼康,斷供了。”
“2.加工極限:鏡片太大了,自重導致的重力塌陷達到了微米級。而我們的麵型精度要求是0.5納米。這意味著,我們要在鏡片彎曲的狀態下,把它磨平。這需要磁流變拋光技術。尼康沒有這種設備,那是美國qed公司的專利,嚴禁出口。”
“3.計量黑洞:就算造出來了,我們沒法測。要測量0.8米口徑、0.5納米精度的非球麵,需要巨型的計算全息乾涉儀。這東西,隻有美國zygo公司能做。同樣,禁運。”
“林先生,”山田看著林遠,“圖紙我給你了。但如果你解決不了這三個問題,這就是一堆廢紙。”
林遠看著那張藍圖。
巨大的透鏡組像一座複雜的玻璃塔,精密,脆弱,且沉重。
“既然圖紙有了。”
林遠合上箱子。
“那我們就從石頭開始造。”
內蒙古,赤峰。
這裡是中國最大的螢石礦產地。
林遠沒有去德國求肖特,也沒有去美國求康寧。他直接帶著李振聲教授和漢斯,殺到了礦山。
“螢石,化學成分caf2。”李振聲看著滿山的石頭,“中國儲量世界第一。但是,要做成光刻機鏡頭,需要生長出超低應力、超高均勻性的大尺寸單晶。”
“難點在於熱應力。”
“螢石導熱性極差,且脆性極大。在晶體生長過程中,如果爐內溫度梯度稍微大一點,晶體內部就會產生內應力,導致雙折射效應。”
“光通過有應力的晶體,會發生偏振旋轉,這就毀了成像質量。我們需要一個完美溫場。”
在墨子材料的新基地裡,一座高達10米的布裡奇曼真空生長爐被搭建起來。
“啟動盤古熱場模擬。”
汪韜的ai團隊介入。
他們不再依賴經驗,而是用有限元分析,模擬了爐內每一個氣體分子的對流,每一個加熱器的輻射。
“設計一個多區控溫加熱器。”李振聲下令。
“把爐膛分成50個獨立的溫區,每個溫區獨立控製。”
以內。”
這是一場漫長的等待。
晶體生長速度:1毫米小時。
長一個0.8米的晶錠,需要一個月。
期間,不能斷電,不能震動,不能有任何乾擾。
一個月後。,重達300公斤的淡紫色透明晶體,被緩緩吊出。
。
“極品!”漢斯驚歎,“這比肖特的貨還要好!中國的礦,加上ai的控溫,絕了!”
第一關,過了。
有了晶體,接下來是加工。
要把這塊300公斤的石頭,磨成特定形狀的非球麵透鏡,且麵型誤差小於0.5納米。
這相當於把地球磨平,且最高的山峰不能超過一根頭發絲的千分之一。
傳統的磨盤不行,會有劃痕,且無法處理非球麵。
離子束拋光太慢,修一個鏡子要一年。
必須上磁流變拋光。
這是一種神奇的流體。在普通狀態下是液體,但在磁場中瞬間變成固體,高粘度流體。
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利用磁場控製流體的硬度和形狀,像一個柔性的磨頭,去拂拭鏡片表麵。rf設備。”王海冰臉色難看,“我們買不到。”
“誰說要買了?”
林遠拿出一份文件。
《國防科技大學精密工程實驗室合作協議》
“彆忘了,我們是軍民融合單位。”rf已經二十年了,是用來磨激光武器反射鏡的。”
“雖然他們的設備有點土,不夠自動化。但原理是一樣的。”
林遠把國防科大的教授請到了江州。rf機床進行ai化改造。1.駐留時間算法。汪總,你要訓練一個模型。根據鏡麵的誤差圖,計算出拋光頭在每一個點需要停留多少毫秒。”
“哪裡高了,就多磨一會兒;哪裡低了,就少磨一會兒。”
“2.流體穩定性控製,磁流變液在使用中會老化、沉澱。我們需要一套實時循環監測係統,動態調整磁場強度,保證去除函數的穩定性。”
接下來就是實戰了。
巨大的機床上,機械臂帶著磁流變噴頭,在巨大的螢石鏡片上緩緩移動。