沈院士抬手扶了扶眼鏡，目光在新光源設備與光刻機的銜接處停留片刻，語氣帶著審慎的期待：“這套激光誘導放電等離子體光源，理論參數確實亮眼，但實際應用效果還需數據說話。良率能穩定在90以上，就算初步成功。”
楚千瀾微微頷首，目光落在屏幕上跳動的實時監測數據：“開始吧，重點記錄光源穩定性、光刻精度和晶圓良率三項核心指標。”
王世傑抬手示意，技術人員立即按下啟動按鈕。
新光源設備發出低沉的嗡鳴，淡紫色的光束透過光學鏡頭，精準投射到晶圓表麵，線條勾勒比原有光源更加銳利清晰。
屏幕上的參數曲線瞬間跳動：光源功率波動控製在±0.3以內，線寬誤差穩定在±0.003微米，各項數據均優於原先193納米光源的表現。
“太驚人了！”一名年輕工程師忍不住低呼，“同等條件下，光刻精度比之前提升了50以上，光源衰減速度也慢了很多，連續工作十幾分鐘，參數沒有任何漂移！”
沈院士臉上露出欣慰的笑容，指尖輕輕敲擊觀察窗玻璃：“這不僅是光源技術的突破，更是打破國外壟斷的關鍵一步。
有了自主可控的光源係統，後續45納米、28納米光刻機的研發，再也不用受製於人了。”
王世傑在一旁解釋道，“這套極紫外光源設備的波長是40納米，還有提升空間。各種性能應該遠超國外的193納米的深紫外光源設備。
按照我們的估算，完全滿足生產20納米製程芯片的條件。至於能否生產更先進製程的芯片，還要進一步觀察。”
“40納米？”沈院士驚歎了一聲，“你們這台設備的參數，已經超越了市麵上所有設備，若是能夠穩定運轉，那就是國際最先進水準！”
作為深耕半導體技術的龍科院院士，自然清楚光源設備是一台光刻機的核心，更清楚國內與國外光源設備的差距。
深藍半導體研發出的這套光源設備，已經打破國外技術的壟斷。
楚千瀾凝視著屏幕上穩定跳動的參數，指尖在觀察窗邊緣輕輕摩挲：“40納米隻是起點，以後還要繼續整合。按照理論，光源波長應該在10至14納米之間。
不過，現在的波長已經足夠我們使用，整合波長的事情可以暫時放緩。”
王世傑眼中閃過一絲熾熱：“楚總，您是說要衝擊極紫外光的核心波長？我們已經抽掉了部分研發人員專門攻克這個方向。隻是想要獲得穩定的光源，還需要不短的時間！”
沈院士在一旁附和：“有了自主光源技術，深藍半導體的光刻機研發才算真正擺脫對外依賴。
龍科院可以協調國內光學廠商，批量生產這套光源設備，不僅能滿足自身需求，還能向其他科研機構供貨，推動整個行業的技術升級。”
楚千瀾指尖輕叩觀察窗：“批量生產的事情可以後續規劃，當前首要任務是確認設備生產效果以及保障45納米光刻產線的研發進度。”
說到這裡，他轉頭看向王世傑，“王總，現在良率如何？”
王世傑指尖在數據平板上快速滑動，語氣帶著難掩的振奮：“楚總，剛完成三輪小批量測試！使用新光源的180納米光刻機，晶圓良率穩定在97.7，比原有光源提升了3.5個百分點！而且連續運轉兩小時後，良率波動僅0.1，穩定性遠超預期。”
他將平板遞到楚千瀾與沈院士麵前，屏幕上清晰呈現著良率曲線與參數對比圖：“您看，線寬均勻度、邊緣粗糙度等關鍵指標，都比國際同類型設備高出一截。
剛才我們還做了極限測試，即便將光刻速度提升30，良率依舊能維持在88以上，完全滿足量產需求。”
沈院士俯身細看數據，眼中滿是驚歎：“97.7的良率，這在國產光刻機中是前所未有的突破！有了這個基礎，45納米光刻產線的研發就能少走很多彎路。”
楚千瀾指尖劃過平板上的良率曲線，眸色沉靜卻難掩鋒芒：“良率達標隻是第一步，接下來要重點驗證光源設備的穩定性以及與其他光刻設備的適配性。”
他的話音剛落，刺耳的警報聲瞬間打破車間的喜悅氛圍，所有人的目光齊刷刷投向新光源設備的控製麵板。
屏幕上彈出醒目的紅色警告：“光束聚焦偏移，誤差值超出安全閾值！”
王世傑臉色驟變，快步衝到操作台前，指尖在鍵盤上飛速敲擊，試圖修正參數：“怎麼會突然偏移？剛才的穩定性測試明明毫無問題！”
張北光緊急調取實時監測數據，聲音帶著些許慌亂：“王總，是光學鏡頭的溫度補償模塊出現異常！連續高負荷運轉後，鏡頭熱脹冷縮導致光路偏移，現在偏移量已經達到0.01微米，超出光刻允許的誤差範圍！”
沈院士眉頭緊鎖，扶著觀察窗的手指微微收緊：“熱穩定性還是沒過關？極紫外光源的高能量特性本就容易導致部件發熱，這是行業通病，但沒想到會在這個節點爆發。”
楚千瀾神色未變，目光緊緊鎖定屏幕上跳動的偏移曲線：“彆急，先切斷光源輸出，冷卻設備後排查問題根源。”
張北光忽然說道，“這套光源的溫度補償算法是按實驗室環境設計的，量產場景下的持續發熱超出預期，必須優化散熱結構和算法參數。”
王世傑立即下達指令，技術人員迅速響應，關閉光源，啟動強製冷卻係統。
淡紫色的光束逐漸熄滅，設備發出的嗡鳴也慢慢減弱，控製麵板上的溫度數值開始緩慢下降。
王世傑擦了擦額頭的冷汗，語氣帶著些許後怕，“我們之前的測試時長最多隻有一小時，沒考慮到連續量產時的持續發熱問題。光學鏡頭的散熱通道設計得太保守，熱量無法快速導出。”
雖然還沒有進行全麵檢查，但故障原因已經基本確認。
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