根據技術現狀來看,我們和世界一流光刻機水平相差超過二十年。
這個二十年,並不是說通過二十年的時間,我們就能追上先進水平。
而是說,再有二十年的時間,我們才能達到現在的國際先進水平。
那麼,這二十年裡,難道西方技術就不發展了麼?
所以,我們國家的光刻機等尖端技術領域的落後,呈現的情況是極為觸目驚心的。
“王院士,你說的是真的嗎?”
齊斌雖然知道這麼問,不夠尊重人,但還是按捺不住心裡的激動,再次出聲問道。
王東來也沒有在意這一點,他很清楚齊斌這樣的表現是什麼原因。
毫無介意地點了點頭,認真說道:“齊主任,我說的兩年時間,是按照我的計劃預估的,如果可以提高投資的話,我覺得這個時間還能進一步縮短!”
聽到王東來肯定的回答,齊斌頓時輕輕地拍了一下桌子。
“王院士,有你這句話,我心裡就穩了!”
“我現在就給領導彙報此事!”
“另外,關於此事,在場諸位都要做好保密工作,不得隨意泄露。”
說完之後,齊斌環顧了一圈,神情極為嚴肅地出聲說道。
眾人自然明白這裡麵的輕重,當即就點頭表示自己清楚。
會議到了這個時候,自然是開不下去了。
王東來也沒有離開,而是在一旁的休息室裡安頓下來。
並沒有讓王東來久等。
齊斌就傳來消息,沈總管將會立即趕回來,和王東來麵談。
而一個小時後。
沈總管就匆匆地趕了回來。
看著沈總管略帶一絲急色的樣子,王東來心裡點了點頭。
“王院士,你說的光刻設備設計方案是真的嗎?”
沈總管一見麵,就直接問了起來。
王東來在說出來的時候,就已經想好了,這個時候自然不會反悔。
當即就點頭承認下來,出聲說道:“領導,是真的!”
“原本我也是想著我們國家的半導體技術落後國際水平,所以在研發的時候,也是從一些不夠重要的領域開始,為的就是能夠多一些時間讓我們的半導體技術發展。”
“現在,隻是初步完成了EDA設計軟件,光刻膠以及先進封裝等方麵的突破,雖然不算是最好的結果,但也不算差了。”
“這個時候,已經被白頭鷹列入了製裁名單,這就證明白頭鷹已經注意到銀河科技了。”
“那麼,我也不用再遮掩了,早點設計出屬於我們國家的光刻設備,我們才能早一點在半導體領域站起來。”
沈總管表現的很冷靜,此時出聲問道:“我聽說你的設計方案,隻需要兩年就能投產,並且還可以提前?”
王東來點頭,承認道:“是的!”
“根據我的了解,目前全球最為尖端的光刻機是來自荷蘭的ASML,我們國家的光刻機設備還遠遠不能和asml相比較,你的兩年時間完成投產,是基於什麼信心而做出的判斷?”
沈總管雖然不是專業人士,可是在來的路上,還是看了一部份的資料,所以此刻便問了出來。
王東來並不在意這一點,而是詳細地和沈總管解釋了起來:“asml在光刻機領域的霸主地位,並沒有多少年。”
&nl的功勞,它的70%的技術都是白頭鷹產品和白頭鷹技術。”
&nl擁有蔡司的20%多的股份,CYmer的極紫外光源排名世界前列,被asml收購,光掩模板、機電設備、激光器、微激光係統、離子注入機套件、準分子激光源、電子束檢測設備等等,要麼是被asml收購,要麼就是asml入股。”
“正是因為有這些尖端技術的加持,所以才能讓asml的發展如此迅速,全球第一個拿出了沉浸式EUV光刻機,領先市場。”
“我們國家的光刻機想要超過達到世界一流水平,就必須要從這些配件一個個地開始突破,隻有這樣,才能達到這個水平。”
&nl後麵發展,想要追趕上來的唯一辦法。”
“如果這麼做的話,根據我的估計,最低也需要十五年才能追趕上來。”
“但如果是我們換一種思維呢!”
&nl把光刻機做的這麼小,所以它才需要這麼多高端的設備和儀器。”
“它之所以做小,是為了可以出口售賣,賣給芯片廠商,為了方便運輸,為了方便搬運。”
“但如果我們拋棄運輸,售賣的想法呢。”
“直接把小小的一個光刻機變成一座光刻工廠,這樣一來,就能避開光刻機的很多技術要求了。”
“起碼,這麼做的話,我們就未必需要最尖端的技術來組裝。”
“同時,一台光刻機每天二十四小時工作下來,生產出來的合格芯片,也隻有幾萬枚而已。”
“但是,如果由光刻工廠來生產的話,生產效率能在光刻機的基礎上翻上最低十倍之多。”
沈總管並沒有因為王東來說出來的這麼多優勢而興奮,依舊保持著冷靜。
“你說的都是優點,我想半導體領域應該也有人能想到這一點,但是卻沒有人這麼做,也沒有這樣的嘗試,這裡麵肯定還是存在著一些問題。”
“從目前的情況來看,應該是壞處多於好處,所以你說的光刻工廠可行性暫且不說,你如何能證明它建造完成之後,可以超過光刻機。”
聽到沈總管指出這個問題,王東來臉上浮現出一絲笑意。
“領導,您說的確實是一個很重要的問題。”
“關於這一點,我也可以做一個簡單的解釋。”
“光刻機也存在優點和缺點,它的缺點是光源相乾性極差,使用反射鏡濾光單鏡光源損耗率30%,總損耗98%,ASML使用的反射鏡全世界隻有蔡司能夠生產。”
“第二,光刻機的錫汙染以及光路散熱工程造成易損件成本增加,高NA升級到600瓦光源功率,使得整機成本增加到四倍。”
“第三,光刻機的生產效率低下,以3400B來說,該EUV光刻機的生產效率是每小時125片晶圓,還不到DUV光刻機生產效率的一半,毫無疑問,該光刻機的生產效率不高,將直接導致芯片的生產成本居高不下。”
“最後,便是光刻機的耗電量大,TJD的所有EUV光刻機開工用電量將會占用半個三峽電站的發電量。”
“至於光刻機的好處我就不提了,我再說說光刻工廠的優缺點。”
“缺點有一點很重要的,那就是波蕩器、扭擺器、尾場激光器三大件,不能產生瞬間磁場的彎鐵必須淘汰,還沒有這樣的裝置進行驗證。”
“如果說光刻機是機床的話,光刻工廠就是一個車間,把光刻機儘量放大,用一台周長100到150米的環形加速器來作為光源,然後帶動數台甚至是數十台光刻機進行工作。”
“我們在追趕荷蘭的光刻機時,如果隻想著因循守舊,走人家的老路,很難在短時間內完成超越。”
“我們必須要另辟蹊徑,開發出新的技術路線。”
“光刻工廠,就是我想到的最好辦法!”
聽完王東來的話,沈總管陷入了沉默之中,久久沒有言語。