六一年，成立三年的ca（美國地球物理公司）造出了世界第一台接觸式光刻機。
七十年代，尼康公司和佳能公司開始進入這個領域，作為光學行業的頂級巨鱷，相機裡的一塊os感光元件，技術難度都比當時的光刻機不知道高多少倍？如魚得水！
七十年代，kaspr儀器公司首先推出了接觸式對齊機台並領先了幾年，blt公司做出了自動生產線，但接觸式機台後來被接近式機台所淘汰。
七三年，拿到美**方投資的p＆公司推出了投影式光刻係統，搭配正性光刻膠非常好用而且良率頗高，因此迅速占領了市場。
七八年，ca推出了世界上第一台商用步進光刻機dsw4800，該機器使用線汞燈和蔡司光學元件，以10:1的比例將芯片線路成像到十毫米見方區域。
八零年，尼康公司率先推出日本首台krf商用步進光刻機nsr-1010，能夠以五倍的分辨率的減少實現1μ製程工藝，生產比ca更高分辨率的鏡頭吸引客戶。
和hp等美國半導體公司，在公司利益麵前果斷放棄美國利益，紛紛掉頭投入尼康公司的懷抱。
在尼康公司的打壓下，ca的高端市場份額不斷減少，在八五年、八六年損失一億美元，不得不裁員七成；八八年，美國通用信號公司以七千六百萬美元收購了陷入財務困境的ca，為了與尼康競爭，satch（美國半導體製造技術戰略聯盟）資助ca開發成功krf光刻機，實現了1μ製程工藝，但尼康光刻機的製程工藝提升到的高端市場份額沒有多大起色。
六六年，中k院109所與滬海光學儀器廠聯手協作成功研製中國第一台光刻機、65型接觸式光刻機。
八一年，中k院半導體研究所研製成功jk-1半自動接近式光刻機。
八二年，109廠、冰城量具刃具廠和阿城繼電器廠共同研製成功kha75-1型半自動接近式光刻機，在指標上已經完全對標日本的p500-f型。
本站最新域名1b
scrpt();/scrpt
（www.101novel.com）