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第九五五章 交換專利(2 / 2)

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“孫董事長,rf準分子激光器技術世界第一,krf光刻膠技術排在b之後。”

麻省理工學院物理學專業博士、五十二歲的美國科學院院士湯普森院長自豪之色溢於言表,c曾經是全球光刻機的霸主。

還兼任光刻機光源研究所所長,研究方向就是光刻機光源、rf準分子激光器。

“c將來定位高端光刻機市場,在光源係統方麵繼續保持行業第一優勢的同時,加大投資提升rf準分子激光器的性能;要與蔡司公司在光學係統緊密合作,簽訂長期供貨合同;公司想在製程工藝精度方麵趕上ko,我認為突破點就在bc不久前發明的光刻機磁懸浮式雙工作台係統上!”

孫健停下來喝口水,不會將浸沒式光刻機的研發方向告訴湯普森院長,雖然手背手心都是肉,但血濃於水!

艾德裡安和布羅迪眼前一亮。

“艾德裡安總經理,公司能否用rf準分子激光器專利交換bc的光刻機磁懸浮式雙工作台係統專利?”

光源、光學係統和工作台係統是光刻機的三大核心技術,bc擁有了其一,還是全球獨一無二的核心技術!自己先後控股了,完成了巴克豪斯投資入股的要求,投資蔡司半導體製造公司的股權隻是時間問題,光學係統也有了著落,換取準分子激光器的終身專利授權成為首要之選。

“孫董事長,雖然公司的rf準分子激光器還保持行業第一,但ko和等光刻機公司都擁有自己的rf準分子激光器公司發明專利,我擔心bc不會答應。”

如今世界前十位的光刻機公司都有自己研發的rf準分子激光器,準分子激光器不是唯一之選,艾德裡安當然擔心。

“艾德裡安總經理,因為涉及兩家控股公司關聯交易和利益輸送方麵的法律問題,我不便出麵,我授權艾德裡安總經理代表c,同湯普森院長一起,帶著律師,一起前往bc,與對方的餘建國總經理和鄧國輝院長商談rf準分子激光器同光刻機磁懸浮式雙工作台係統專利技術授權轉讓事宜,我也授權餘建國總經理代表bc,你們雙方商量後決定,艾德裡安總經理和餘建國總經理最後在專利技術授權轉讓協定上簽字蓋章。”

c屬於美國上市公司,美國的法律條文齊全,違法必究,涉及到兩家控股公司的關聯交易和利益輸送,一旦出問題,孫董事長跑不了,避免留下汙點,不會出麵協調,不給下屬留下偏袒一方的把柄,避免秋後算賬,他隻會告訴餘建國,他將入股蔡司公司,解決光學係統的難題,相信餘建國和鄧國輝知道公司急需什麼技術?處在優勢位置,在談判桌上,不會吃虧。

有了世界第一的rf準分子激光器專利技術的終身授權,bc光源廠就能合法生產rf準分子激光器(不能出售和轉讓專利技術),鄧國輝團隊在研究透了rf準分子激光器的基礎上,開始研發rf準分子激光器,提前研製193浸沒式光刻機,一旦研製成功,bc必將脫胎換骨。

浸沒式光刻係統是前世台積電林工程師的建議,被投入巨資研究f2準分子激光器的尼康和佳能等光刻機光源專家嗤之以鼻,但l冒險采納了這個建議,攻克了光刻機193波長的世界性光學難題,生產了全球第一台浸沒式光刻機,一舉成名!

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