這時，徐佑突然注意到。

在正常的鐳射最佳聚焦位置下，入射鐳射能量和等離子體之間缺乏有效的耦合。

而其中的原因，是因為在最佳聚焦位置處，聚焦光斑尺寸較小，鐳射聚焦錐角也較小，等離子體吸收的能量會侷限在中軸附近，影響等離子體對鐳射能量的吸收。

換句話說，所謂的“鐳射最佳聚焦位置”，很可能並不是EUV光譜強度最強的位置。

“如果調整一下聚焦光斑的尺寸……情況就會有所不同了。”

按照徐佑的理論，當聚焦光斑尺寸略微增大時，鐳射聚焦錐角也會跟著增大。

這樣一來，鐳射能量會有效地分佈在整個等離子體的前沿，等離子體可以有效地吸收鐳射能量，減少能量的損失。

當然，聚焦光斑尺寸不可以增大過多，否則的話，就會起到適得其反的效果了。

只是，雖然徐佑有了這些推論，但僅僅依靠自己的算力，是很難在有限的時間內，找到最佳的聚焦光斑尺寸的。

好在，徐佑可以依靠算經強大的算力，來大大提高自己的計算速度。

經過多次的計算，徐佑總算找到了EUV光譜強度最強的位置。

更換了新的EUV光源裝置後，徐佑重新進行光刻機工作流程的推演。

正如徐佑所料想的一樣，當光源的亮度大大增加後，光刻機的工作效率，也跟著提高了不少。

“如果能夠按照這樣的效率去工作，那這臺EUV光刻機，是真的有可能投入到使用中的！”

確定了光刻機的設計方案，徐佑仍需要總結出各個部件的具體工藝。

因為，想要製造出像光刻機這樣，如此精密的儀器。

僅僅依靠設計圖，是遠遠不夠的。

如果沒有具體的工藝，即使拿到了設計圖，也並不代表就能把光刻機整個製造出來。

徐佑顧不上休息，繼續和算經一起，進行著接下來的工作。

……

在徐佑的實驗室中，林詩正在焦急的向崔穎詢問著什麼。

“崔老師，徐老師今天怎麼又沒來實驗室？需不需要我們去看一看他啊？”

“不必了，徐老師最近可能有些勞累，需要休整一段時間，暫時就不先不出現在實驗室了。林詩，就算徐老師不在，你也要做好帶頭作用，繼續幾個專案的研究工作。”

“好的，崔老師，我知道了。”

林詩心裡隱約還是有些擔心徐佑，不過既然崔穎這麼說，林詩也不好再問什麼。

徐佑不在的時候，林詩更應該挑起大梁，繼續徐佑未完成的科研專案。

正在這時，實驗室的大門突然被敲響。

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