“設備呢?”林遠問,“離子注入機,我們有嗎?”
“有。”王海冰點頭,“中科院微電子所有一台國產的樣機,雖然不如美國的appiedaterias先進,但注入氫離子夠用了。”
“鍵合機呢?”
“這也是個難題。”李振聲皺眉,“铌酸鋰和矽的熱膨脹係數不同。高溫鍵合會炸裂。我們需要常溫鍵合技術。”
“目前,這項技術掌握在奧地利的evg公司手裡。”
“買!”林遠毫不猶豫。
“買不到。”王海冰苦笑,“evg也在瓦森納協定名單裡。”
又是一堵牆。
沒有現成的鍵合機,就意味著無法把那層珍貴的薄膜貼到矽片上。
貼不上去,一切都是空談。
“常溫鍵合的原理是什麼?”林遠問。
“表麵活化。”李振聲解釋,“在真空環境下,用等離子體轟擊兩個材料的表麵,打斷表麵的化學鍵,讓原子處於饑餓狀態。”
“然後,把兩個表麵貼在一起。”
“原子之間會瞬間形成共價鍵,就像兩個磁鐵吸在一起一樣。不需要膠水,不需要高溫。”
“但這需要極高的真空度和極精密的等離子體控製。”
“如果我們自己造這台機器……”王海冰估算了一下,“大概需要半年。”
“太久了。”林遠搖頭。
他突然想到了什麼。
“等一下。表麵活化……等離子體轟擊……”
“我們在江鋼的工業之心項目裡,是不是改造過一批等離子體清洗機?用來清洗汽車鋼板表麵的?”
“是。”孫大炮通過視頻連線回答,“那是用來除油的,粗糙得很。”
“原理是一樣的!”林遠眼中閃過一絲瘋狂。
“把那台清洗機拉過來!”
“我們要對其進行魔改!”
三天後,東海縣工廠。
一台被拆得麵目全非的工業清洗機,擺在無塵室裡。
它的噴頭被換成了高精度的離子源,真空泵被換成了分子泵。
“這是土法煉鋼啊……”嚴教授看著這台“怪獸”,直搖頭。
“不管黑貓白貓,能抓老鼠就是好貓。”林遠站在控製台前。
“第一次鍵合實驗,開始!”
機械臂夾著一片矽晶圓和一片剛剝離下來的铌酸鋰薄膜,送入真空腔。
等離子體輝光亮起。
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“轟擊時間:30秒。”
“貼合壓力:500牛頓。”
“出艙!”
兩片材料被緊緊壓在一起,送了出來。
李振聲戴著手套,小心翼翼地拿起來,放在顯微鏡下。
所有人都屏住了呼吸。
“怎麼樣?”林遠問。
李振聲沉默了很久。
然後,他抬起頭,臉上露出了難以置信的表情。
“結合力……完美。”
“界麵無氣泡,無裂紋。”
“我們……成功了?”
“不。”李振聲指著邊緣,“還有一個問題。”
“雖然貼上了,但是……不平。”
“我們的土炮清洗機,等離子體分布不均勻。導致薄膜表麵出現了納米級的波浪紋。”
“這種波浪紋,會導致光信號在傳輸時發生嚴重的散射損耗。”
“如果不磨平,這塊晶圓,依然是廢品。”
這就好比你鋪好了地板,但地板是波浪形的,車根本開不快。
“拋光?”王海冰問,“我們沒有化學機械拋光設備。那也是被禁運的。”
死循環。
解決了一個問題,又冒出一個新問題。
這就是基礎工業薄弱帶來的連鎖反應。你缺的不僅僅是一台機器,而是整個產業鏈。
林遠看著那塊波浪形的晶圓。
他知道,常規手段已經用儘了。
必須用非常規手段。
“既然磨不平……”林遠的聲音突然變得很輕。
“那我們就不磨了。”
“什麼?”眾人大驚。
“我們用填坑。”
林遠看向趙博士。
“趙博士,你們的光刻膠,是不是有一種特性叫平坦化?”
“是……”趙博士點頭,“光刻膠是液體,塗在晶圓上,會自動流平,填補表麵的坑窪。”
“那就對了!”林遠打了個響指。
“我們在波浪紋上麵,旋塗一層特製,折射率與铌酸鋰完全一致的光學樹脂。”
“把坑填平,然後再固化。”
“這樣,光在傳輸時,就不會感覺到界麵的起伏,因為它在光學上是均質的。”
這簡直是作弊。
用化學材料去修補物理加工的缺陷。
“這……這能行嗎?”李振聲都驚呆了,“這在教科書上從來沒寫過。”
“教科書是給有設備的人寫的。”林遠冷笑,“我們是窮人,窮人就要有窮人的辦法。”
“趙博士,馬上調配樹脂!折射率要精確匹配到小數點後四位!”
24小時後。
經過填坑處理的晶圓,被送入了測試台。
激光注入。
光信號在晶圓表麵的波導中飛速傳輸。
檢測儀上的數字開始跳動。。的標準!
達到了光學級!
“成功了!!!”
實驗室裡爆發出了震耳欲聾的歡呼聲。
嚴教授抱著那塊晶圓,像抱著自己的孩子一樣痛哭流涕。
他們用一台改的清洗機,一桶化學膠水,加上無數個日夜的瘋狂計算,硬生生地在簡陋的廠房裡,造出了全球最頂尖的noi光子晶圓。
這就是中國工程師的韌性。
這就是被逼到絕境後的爆發力。
林遠站在人群後,看著那塊閃爍著微光的晶圓。
他不僅解決了材料問題,還通過noi技術,將成本降低了90!
材料有了,設備有了。
光子芯片的量產,已經沒有了物理障礙。
但是,就在林遠準備全速推進時。
一個來自歐洲核子研究中心的郵件,發送到了李振聲的郵箱裡。
郵件隻有一句話:
“我們在大型強子對撞機的實驗數據中,發現了一個關於光子糾纏的異常現象。這可能會顛覆你們所有的光子計算架構。如果不解決這個問題,你們造出來的光子芯片,可能會變成量子炸彈。”
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