“每小時衰減1。照這個速度，三天後就沒光了。”
“去檢查鏡片。”
工程師打開真空管道，取出了反射鏡。
所有人倒吸一口涼氣。
原本晶瑩剔透的鏡片表麵，覆蓋了一層薄薄的、黑色的物質。
“是碳。”張教授用光譜儀測了一下。
“哪裡來的碳？”林遠問，“我們的管道是超高真空uhv，10的負9次方帕。怎麼會有碳？”
“光化學汙染。”
漢斯歎了口氣。
“真空係統裡，不可避免地會有微量的有機揮發物vocs。比如密封圈釋放的烷烴、泵油的蒸汽。”高能光子的轟擊下，這些有機分子會發生裂解，碳原子沉積在鏡片表麵，形成石墨層。”
“石墨對紫外光是強吸收的。這層膜越厚，吸收越強，鏡片越熱，最後炸裂。”當年為了解決這個問題，花了整整五年。
“換金屬密封圈？換無油泵？”王海冰問。
“沒用。哪怕是一個分子的有機物，時間長了也會累積。”
“不能防，隻能洗。”
林遠提出了方案。
“我們不能每次都把鏡子拆下來洗。那樣光路又要重新調。”
“我們要搞原位清洗。”
“在每個反射鏡倉裡，安裝一個射頻等離子體發生器。”
“當我們不曝光的時候，向倉內通入微量的氧氣。”
“激發氧等離子體。”
“活性氧原子o會與鏡片上的碳發生反應，生成二氧化碳氣體，被真空泵抽走。”
“這叫光刻機的透析。”
風險就是氧等離子體如果不控製好，會連同鏡片上的鍍膜一起腐蝕掉。
“汪總，這又需要你的算法了。”
“根據碳沉積的速率，精確控製清洗時間和功率。多一秒傷膜，少一秒洗不淨。”
一個月後。
所有子係統就位。係統、原位等離子清洗係統。
“全係統聯調。”
林遠站在光刻機車間。b光源全功率輸出。
“光閘打開！”
一道看不見的深紫外光束，穿過了漫長的真空管道，在8麵反射鏡上跳躍、折射。
它躲過了地麵的震動，穿透了黑色的碳膜，最終……
轟擊在光刻機的照明係統入口處。
功率計讀數跳動：
接收功率：65。
傳輸效率：65！波段來說，已經是工程學的奇跡。這65的功率，依然是傳統光源的1.5倍！
“光到了！”
王海冰激動得熱淚盈眶。
他們用一堆並不完美的零件，通過極致的係統工程和算法補償，搭建起了一條通往納米世界的光之高速公路。
慶功宴上，大家都很沉默。
隻有他們自己知道，這束光背後，是多少個不眠之夜，是多少次在物理極限邊緣的試探。
“林董，”漢斯喝了一口啤酒，“這套傳輸係統，造價太高了。”鏡子和控製係統，成本就超過了光源本身。”
“如果要在全國推廣，這筆錢……”
“錢不是問題。”林遠看著手中的酒杯。
“問題是，我們把設備做成了精密儀器，這很難維護。”
“我們需要把這套係統傻瓜化。”
“下一步，我們要搞集成光路。”
“把這些分立的鏡子、傳感器、控製器，全部集成到一個真空光模塊裡。”
“像搭積木一樣，一節一節拚起來。”
“這就需要標準的製定。”
林遠放下了酒杯。
“通知李俊峰。”
“啟明聯盟，成立先進光源與光學傳輸委員會。”
“我們要製定中國光路標準。”
“所有想給工業之心供貨的光學廠商，必須按這個標準來。”
就在這時，顧盼匆匆走了進來，神色古怪。
“老板，有個意外的消息。”
“怎麼了？”
“尼康的人來了。”
“日本人？”林遠眉頭一皺，“東和財團派來的？”
“不。”顧盼搖頭。
“是尼康總部的造反派。”壓製了太久，快要破產了。”
“他們聽說我們在搞計算光刻和新型光源，想帶槍投靠。他們手裡，有我們最缺的一樣東西大數值孔徑highna物鏡設計圖。”
林遠笑了。
敵人的聯盟，開始瓦解了。
在生存麵前，沒有永遠的敵人。
“讓他們進來。”
“我想聽聽，這些曾經的光刻機霸主，能開出什麼價碼。”
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